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        1. 成功案例/ Successful Cases
          大型氣相沉積爐

          大型氣相沉積爐

          主要技術參數:

          1. 高溫度:2000℃

          2. 使用空間:1500*2000

          3. 極限真空度:10-1Pa

          4. 加熱區:四區加熱


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