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        1. 氣相沉積(CVD)爐 先進陶瓷
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          產品詳情

          、設備用途:

          用做石墨或碳碳表面的碳化硅涂層、碳碳復合涂層。

          用途廣泛 如:

          1 碳碳復合涂層:光伏晶體爐的熱場材料

          2 石墨涂層:LED藍寶石襯底MOCVD的石墨托盤

          、設備特點:

          1 立式結構,爐殼用耐腐蝕材料制成。

          2 獨特的內罩進排氣結構,熱場溫度均勻性好。

          3 氣氛控制精確,真空系統配有過濾器,可選配尾氣處理系統。

          4 主要電器元件采用施耐德及歐姆龍品牌,性能穩定、可靠。

          5 配備出、裝料料車,方便操作及出裝料,提高工作效率。

          、主要技術參數:

          No.型號工作區尺寸(?XH)mm高溫度  (℃)真空度   (Pa)

          壓升率

           (Pa/h)

          溫度均勻性 (℃)功率   (KW)
          1ZT-60-15300X50015001-1000.67±1060
          2ZT-145-15600X80015001-1000.67±10145
          3ZT-220-15800X100015001-1000.67±15220
          4ZT-270-151000X150015001-1000.67±20275
          5ZT-550-151500X200015001-1000.67±20550

          爐膛尺寸可按要求定做

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